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VIISta®

维利安半导体设备有限公司在 1998 年推出的 VIISta 平台,是业内首款支持整条注入产品产线的通用平台。此平台设计为可搭载四种不同的产品(高电流、中电流、高能量和等离子掺杂),最大限度提高了平台通用性。

维利安半导体设备有限公司 (VSE) 的所有注入产品,其离子生成源模块、终端站/工艺腔室、晶圆处理装置和软件都为通用组件,因此能简化维护、培训和产品支持,从而降低产品支持和制造成本,充分发挥工程创造力。