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Vantage®

2012 年底,全球晶圆制造厂已超过 600 家。Vantage 平台专用于搭载我们的单晶圆快速热处理 (RTP) 腔室,包括用于热氧化工艺的 RadOx;用于尖峰退火和均温退火的 RadiancePlus 及 Vulcan 腔室;用于毫秒退火的 Astra 腔室。此平台可容纳两个腔室,并经过专门设计,可达到最佳的成本优化和空间节省。Vantage 的尖峰退火系统和热氧化系统在此类技术方面处于行业领先地位。