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微机电系统(MEMS)

MEMS 器件应用范围的扩大(包括加速度计、陀螺仪和麦克风等应用),成为当前移动、汽车和医疗设备市场转型的主要推动力。随着多功能或“组合”传感器封装的开发,MEMS 器件的应用进一步加速,其占用面积更小,使得在类似的设备尺寸上可以集成更多的功能。要实现这些组合器件需要使用新的材料和器件集成方案,其中包括沉积和刻蚀厚外延以降低功率,以及…