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Centura®

Centura 是应用材料公司具备多样化功能的平台,现已向全球客户输送 8,000 多套,用于各种领域的应用,包括 ALD、CVD、外延生长、刻蚀、光掩膜工艺、PVD、等离子掺杂、等离子氮化和快速热处理,以及集成式多步工艺,如高 k 晶体管栅叠层制造。

Centura 架构将四个加工站和两个辅助反应室集合在中央传输模块周围,该模块配备超可靠的磁耦式真空机械手臂。