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Raider® Mini Quattro ECD

Raider M-Quattro 是一种高性能单晶圆 ECD 系统,配备全自动精确晶圆搬运功能和多个工艺腔室。在 Raider M-Quattro 平台上开发的新兴工艺和配方可直接转用于 Raider GT ECD 量产制造系统中,从而实现从研发到全面投产的快速无缝过渡。

功能特性

  • 最多可配备四个相同或不同的工艺腔室以优化性能
  • 占地面积小 <4.5m2
  • 最大可处理 300mm 的衬底
  • 提供开放式载片盒、SMIF 或 FOUP 配置
  • 机载化学材料搬运
  • 多达四种不同的化学材料
  • 为电镀提供机载电源
  • 可用端点检测