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ENFLEXOR™ TFE系统

用于薄膜封装的等离子体增强化学气相镀膜设备

等离子体增强化学气相镀膜(PECVD-TFE)设备Enflexor™ Gen 6H PECVD沉积卓越的阻隔膜层,实现可挠式OLED面板技术。Enflexor Gen6H提供一系列的缓冲膜层及网格技术,具备用于全方位一体化系统处理能力的网格自动交换,而量率性能管理则带来通往量产的捷径。该设备易于与其他OLED设备整合。