アプライド マテリアルズ　高速DRAMの製造に向けた革新的な装置を投入

報道資料
2011年7月11日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ　高速DRAMの製造に向けた革新的な装置を投入

・マイクロプロセッサの性能に合わせたDRAM高速化が20nm世代の課題
・新トランジスタ製造技術で「メモリの壁」を克服、データアクセスを高速化

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は7月6日（現地時間）、次世代DRAMの性能を高める3つの新しい製造装置を発表しました。これらはメモリチップ内にトランジスタとコンタクト領域を形成する際の課題を克服する革新的な装置で、ゲート絶縁膜の微細化を可能にするプラズマ窒化装置Applied Centura® DPN HD™、高アスペクト比のコンタクト形成を実現するコバルトPVD装置Applied Endura® HAR Cobalt PVD、およびゲートスタック抵抗を低減するPVD装置Applied Endura® Versa™ XLR W PVDの3つになります。

アプライド マテリアルズのエグゼクティブバイスプレジデント兼シリコンシステムズグループ ジェネラルマネージャー、ランディア・タッカーは次のように述べています。「新しいDRAM製造技術は、今日の高性能モバイル機器が持つ高いポテンシャルを引き出すと同時に消費電力を抑える重要な役割を果たします。今回発表した装置は、プラズマ窒化ゲートとPVDメタライゼーション分野におけるアプライド マテリアルズの先進的技術により、メモリの高速化と省電力化を実現するものです」

マイクロプロセッサは近年大幅に高速化が進んでいますが、DRAMの速度はこれに追いつかず、性能に大きな差が生じています。この「メモリの壁」を乗り越えるには、メモリセルアレイと外部データバス間のデータ転送を担う制御回路の高速化が不可欠です。DRAMメーカ各社はこの問題に対応するため、先進的なロジックデバイスに用いられる重要なトランジスタ技術を応用することによりトランジスタ密度を高め、制御回路の高速化・高度化の実現を目指しています。

アプライド マテリアルズのフロントエンド＆メタルデポジション部門ジェネラルマネージャー、スティーブ・ガナイェムは次のように述べています。「当社は他社の追随を許さないトランジスタ技術とコンタクト技術を取りそろえ、DRAM製造プロセスの主要課題に対応する多面的なアプローチをお客様に提供しています」

Applied Centura DPN HDは、ゲート絶縁膜に窒素を加えることで電気特性を改善し、トランジスタの性能を大幅に向上させるよう設計されています。新採用の高ドース（HD）技術は、アプライド マテリアルズが先駆的に投入し、その後ロジックやメモリなどの先端デバイス製造に広く採用されるようになったデカップルドプラズマ窒化（DPN）技術をベースに開発したもので、トランジスタの性能を最適に保ちながら微細化を進めることが可能となります。

トランジスタのコンタクト部分を従来のチタンに代えて低抵抗のコバルトで成膜する新しいPVD装置Applied Endura Cobalt PVDは、スイッチングの高速化と消費電力の低減を実現するための技術です。コバルトの物理的気相成長法（PVD）におけるアプライド マテリアルズの10年の実績に基づくこの装置は、高アスペクト比のコンタクト底部へ均一に成膜することで、コンタクト抵抗をチタンより50％低減することが可能となります。

Applied Endura Versa XLR W PVDは、業界標準となっているアプライド マテリアルズのタングステンPVD技術を拡張し、ゲートスタック抵抗を最大20％引き下げ、ゲートの微細化において鍵となるスイッチング速度を大幅に改善します。さらにリアクタの設計を最適化したことで、重要な消耗部品の寿命を延ばし、ウェーハ当たりのコストを10％引き下げます。

アプライド マテリアルズの先端DRAM製造に向けた新装置に関する技術の詳細については、www.becauseinnovationmatters.comをご参照ください。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

 
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このリリースは7月6日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
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