アプライド マテリアルズ 最先端半導体デバイスの製造効率を高めるイオン注入装置Applied Varian VIISta® Tridentを発表

報道資料
2012年6月7日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ 最先端半導体デバイスの製造効率を高めるイオン注入装置Applied Varian VIISta® Tridentを発表

• 最先端トランジスタ構造の製造に不可欠な高精度のドーズと注入角度制御を実現
• すでに主要ファンドリー全社が20nmノード向けに同装置を標準採用

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は6月6日（現地時間）、業界で最も先進的な枚葉式高電流イオン注入装置Applied Varian VIISta® Trident（以下VIISta Trident）を発表しました。イオン注入は、半導体にドーパント原子を注入してその電気特性を操作する技術です。VIISta Tridentは、20nmノードの高性能で省電力のロジックチップ製造に不可欠な高歩留まりを実現した唯一のイオン注入装置です。

20nmノードでは、ドーパントの最適な活性化と、エクステンション、ソース／ドレイン接合およびコンタクトの各領域における欠陥抑制が、高性能トランジスタのスケーリングにおける大きな課題となっています。VIISta Tridentは、ドーパント濃度と深さ方向プロファイルを正確に制御することで、最先端デバイスにおける性能の最適化、リーク電流の抑制、バラツキの低減を可能にしています。

アプライド マテリアルズのバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（バリアン事業部門）、ボブ・ハリデイは次のように述べています。「最先端のロジックチップでは通常必要とされるイオン注入の工程数は、カクテル注入および材料改質アプリケーションを含めると60にも上り、その多くはデバイス性能に重大な影響を及ぼします。VIISta Tridentの持つ高い注入精度は、お客様が最先端半導体デバイスの設計において高い歩留まりを達成するのを可能にする不可欠な技術です。アプライド マテリアルズは、このインダストリー・ベンチマークとなる高性能イオン注入機を通じて業界リーダーとしての地位をさらに強化し、お客様に最先端のトランジスタ製造ソリューションを提供します。20nmノードの半導体を製造している主要ファンドリー各社は、すでにVIISta Tridentを標準採用しています」

 
VIISta Tridentは、低エネルギー能力を強化した独自のデュアルマグネット・リボンビーム方式を採用し、優れた高電流イオン注入性能を実現しています。また、トランジスタチャネル領域でリーク電流の増加や性能劣化をもたらす有害な高エネルギー汚染を、Energy Purity Module（エネルギー・フィルター・モジュール）の採用でほぼ完全に除去しています。

また、極低温注入機能の搭載により、マイナス100°Cまでの低温で高スループットのイオン注入を行うことができ、トランジスタのマッチングに求められる高度なプロセス制御を実現します。この機能は、特にオンチップのキャッシュメモリ用の埋め込みSRAMセルの製造等で重要な役割を果たします。モバイルコンピューティングに求められる安定した低電圧スイッチング性能を得るには、各セルを構成する6～8個のトランジスタを高精度でマッチさせる必要があるからです。

VIISta Tridentを支える技術の詳細に関しては、以下をご参照ください：www.appliedmaterials.com/technologies/library/varian-viista-trident

アプライド マテリアルズはサンフランシスコで7月10日～12日に開催されるSEMICON West 2012において、VIISta Tridentをはじめとするいくつかのキー・テクノロジーを発表する予定です。詳細については、アプライド マテリアルズのオンラインブース（www.becauseinnovationmatters.com）をご覧ください。掲載内容は、SEMICON West 2012の開催前や会期中に随時更新する予定です。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

 
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このリリースは6月6日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか13のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社 社長室 (Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com