アプライド マテリアルズ　高度な配線形成への道を拓く最先端Cuテクノロジーを発表

報道資料
2011年3月22日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ　高度な配線形成への道を拓く
最先端Cuテクノロジーを発表

• コンシューマ機器の性能を高める次世代メモリー／マイクロプロセッサに向けた画期的なめっき成膜技術
• 競合他社装置に比べスループットは最大100%向上、オペレーションコストは最小
• Cuめっきソリューション分野におけるアプライドの市場シェア急拡大を加速

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は3月17日（現地時間）、22nmノード以降のCu配線形成にイノベーションをもたらす電解めっき (ECD: electrochemical deposition)装置Applied Raider® GTを発表しました。最先端チップの中には10層以上の配線層を持つものもあり、こうした複雑な構造の形成が半導体製造において最もプロセス集約的でコストへの影響も大きくなっています。Raider GTはこの課題を解決するため、きわめて狭い高アスペクト比形状の埋め込みに対応したほか、他社のECD装置に比べてウェーハスループットは最大100%増、オペレーションコストは最小となっています。

アプライド マテリアルズのコーポレートバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（セミツール部門）、ラリー・マーフィーは次のように述べています。「新製品Raider GTは、セミツールのECD技術を次々世代にまで拡張利用できるようにするもので、モバイル革命を担うお客様の最先端デバイス開発を支援します。今回の発表は、アプライド マテリアルズとセミツールの統合に続くきわめて好調な一年の結集です。この堅固な協力によって当社は市場シェアを伸ばし、Raider GTをはじめとする世界レベルの製品を業界に提供しています」

Raider GTの大きな特長は、高速のマルチアノード制御システムにより、成膜プロセスできわめて重要な最初の数秒間に、幅の狭い高アスペクト比のトレンチやビアをボイドフリーで埋め込む機能を備えていることです。この独自技術はターミナル効果を抑制し、ウェーハ全面にわたって均一な成膜を可能とするもので、酸濃度や添加物の構成を適宜選んで組み合わせることができるので、微細形状でも最適なギャップフィルが得られます。他社のECD装置の場合、適切な膜均一性を得るには酸濃度の低い薬液を使う必要があるため、形状埋め込みの最適化が課題となっていました。

Raider GTは競合装置の2倍にあたる最大6つのめっきチャンバを搭載するほか、エッジおよび裏面のメタル除去用プログラマブルチャンバと、オプションのアニールや膜厚計にも対応しています。このユニークなシステム設計により、抜群の生産性とプロセス柔軟性が得られます。

Raider GTの画期的技術の詳細については、
www.becauseinnovationmatters.comをご参照ください。

アプライド マテリアルズは、銅配線用装置のトップサプライヤーとして、成膜、エッチング、CMP用など幅広い装置を提供しています。アプライド マテリアルズの最先端多層配線形成ソリューションについては、www.appliedmaterials.com/interconnectsに詳細を掲載しています。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは3月17日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
社長室： 大橋 百合　(Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com