アプライド マテリアルズ 世界水準のサブ20nmパターン検査を実現するウェーハ検査装置UVision 5を発表

報道資料
2012年7月10日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ 世界水準のサブ20nmパターン検査を実現するウェーハ検査装置UVision 5を発表

• DUVレーザーと明視野・グレイフィールド技術によりウェーハ面の光強度を最大2倍に高め、抜群の検出感度を実現
• 独自の画像処理アルゴリズムでノイズを50％低減し、高密度形状上で欠陥を検出
• 主要ファンドリーやロジックファブが2Xnmノード以降の製造ですでに採用

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は7月9日（現地時間）、サブ20nm世代ロジックデバイスの性能を左右するパターニング層の欠陥検出に対応したウェーハ検査装置Applied UVision® 5を発表しました。この装置はDUV（深紫外線）レーザーに加えて明視野・散乱光（グレイフィールド）の同時集光機能を備え、ウェーハ上の光強度が従来装置の最大2倍にも達するため、致命欠陥の検出数も最大で2倍に増えます。この抜群の感度により、半導体メーカーはきわめて微細な回路の製造を安定的かつ確実に管理することが可能となります。

アプライド マテリアルズのコーポレートバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（PDC事業部）イタイ・ローゼンフェルドは、次のように述べています。「技術ノードが一段階進むごとに、それまでは無視できた微細な欠陥が、突然致命的な欠陥となる場合があります。UVision 5におけるイノベーションは、こうしたきわめて微細な欠陥を検出・分類し、歩留まり向上とサイクルタイム短縮をもたらします」

「UVision 5がお客様から大きな反響を呼んでいることを心強く思います。すでに何件かのリピートオーダーをいただいているほか、複数の大手ロジックメーカーやファンドリーが2Xnmデバイスの製造向けに正規採用しています」とローゼンフェルドは付け加えています。

UVision 5の強力な光学系はウェーハ上の光密度を最大で従来の2倍に高めるほか、独自の集光経路を利用することにより、従来機種に比べ散乱光を最大30％多く集めることができます。さらに、ウェーハに起因するノイズを最大50％低減する独自の新画像処理アルゴリズムを併用することで、ArF液浸リソグラフィー、ダブル／クアッドパターニングおよびEUVリソグラフィーレイヤーなどを扱う重要な検査アプリケーションの検出性能が強化されます。

ファンドリーでは毎年数千種もの新しいチップデザインが投入されますが、UVision 5はその検査時間を大幅に短縮し、迅速な製造立ち上げを支援します。UVision 5は、業界標準となっているアプライド マテリアルズの欠陥レビュー装置SEMVision® G5とハンズフリーでシームレス統合ができ、業界をリードする完全一体型の欠陥検査・レビューソリューションを形成して、データの迅速かつ正確な情報化を実現します。さらに、設計情報を利用してレイアウトデータを構築する機能も備えているので、欠陥捕捉率も向上し、さらに1検査レシピ当たりのオペレーター作業時間を最大15時間短縮できます。

UVision 5の詳細情報については、www.appliedmaterials.com/uvision5.htmlをご参照ください。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは7月9日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか13のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

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