アプライド マテリアルズ　最先端チップ製造に向けた初の全自動欠陥レビュー装置SEMVision G5を発表

報道資料
2011年12月6日
（日本時間）

アプライド マテリアルズ　最先端チップ製造に向けた初の全自動欠陥レビュー装置SEMVision G5を発表

• 画期的なハンズフリー処理を実現
• 画素サイズ1nmの比類ない高精細画質
• 22nmパターニング層に対し最高の有効欠陥検出率を発揮、歩留まり向上に貢献

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は12月5日（現地時間）、欠陥レビューSEM（走査電子顕微鏡）分野におけるリーダーシップをさらに強化する新製品Applied SEMVision™ G5を発表しました。これは、半導体の量産環境で歩留まりを低下させる20nmサイズの欠陥を無人で画像化・分析する初の装置です。SEMVision G5は画素サイズ1nmの精度で重要な欠陥を識別・画像化するユニークな機能を備え、欠陥の根本原因をこれまでになく早く正確に突き止めてロジックやメモリーの製造を円滑化します。

画素サイズは1nmと同クラスの装置中最も高精細かつ高画質、さらに強力な分析エンジンも備えたSEMVision G5は、最も検出が難しいパターニング層の欠陥識別・分析・検出に対応しながらスループットも改善する唯一の欠陥レビューSEM装置です。しかも、ニューサンス欠陥と呼ばれる非重要欠陥を重要欠陥と区別する性能も従来の水準を上回っています。テストでは熟練した人間のオペレーターよりも正確かつはるかに高速で欠陥を検出できることが示されており、ウェーハの検査枚数や検査回数を増やせるほか、習熟サイクルの短縮や歩留まり改善の迅速化が見込まれます。

SEMVision G5はオープンアーキテクチャーを採用したプラットフォームで、ウェーハ検査装置からのデータと事前定義されたレビューストラテジーのライブラリをダイナミックに組み合わせ、新しいレビューレシピを自動で生成することができます。これに対し他の装置では、検査するチップの種別ごとにレシピを手作業で作成する必要があるため、より時間がかかります。毎年数千種もの新しいチップデザインを投入して迅速に高い歩留まりを得ることが求められるファンドリー企業にとって、このレシピ自動生成機能は不可欠といえます。

アプライド マテリアルズのコーポレートバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（PDC事業部）イタイ・ローゼンフェルドは、次のように述べています。「SEMVision G5の優れた画像処理機能とハンズフリー方式は、製品の市場投入を迅速化して、今日のエレクトロニクス市場が求める製品サイクル短縮を実現し、お客様の競争力向上に貢献します。すでに複数台のSEMVision G5をお客様に納入していますが、これにはリピート購入も含まれています。こうして迅速に採用が進んでいるのは、この重要な分野において13年にわたってリーダーシップを発揮してきた当社の製品が高い価値を持っているからにほかなりません」

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは12月5日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

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