アプライド マテリアルズとマグマ・デザイン・オートメーション CADを検査装置に統合、先進ノードにおける歩留まりの立ち上がりを迅速化

報道資料
2011年3月2日
（日本時間）

アプライド マテリアルズとマグマ・デザイン・オートメーション
CADを検査装置に統合、先進ノードにおける歩留まりの立ち上がりを迅速化

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）とマグマ・デザイン・オートメーション（Magma Design Automation, Inc.、以下マグマ社）は2月28日（現地時間）、マグマ社のCADナビゲーション／歩留まり解析ソフトウェアをアプライドの先進的検査装置に組み入れることを発表しました。設計ツールと製造装置との独自の組み合わせにより、先進的技術ノードでの開発・製造におけるリソグラフィーの検証が迅速化し、半導体の歩留まり向上が実証されています。

ドイツ・ドレスデンにあるGLOBALFOUNDRIES Fab 1のコンタミネーションフリーマニュファクチャリング担当マネージャー、レモ・キルシュ氏は次のように語っています。「欠陥分析とモニタリングにCADベースの検査技術を導入したことで、欠陥管理の効率が向上し、プロセスの最適化のサイクルタイム短縮が可能となりました。この技術は現在製造ラインと開発ラインの両方に導入され、プロセスの品質と安定した歩留まりを支援しています」

デバイスの微細化が進むにつれて、適正な歩留まりを達成するのがますます難しくなっています。プロセス条件と設計が複雑に相互作用することにより「ホットスポット」と呼ばれる設計意図からはずれたパターンがプリントされてしまうことがありますが、これらはデバイスの量産開始前に取り除く必要があります。設計データとリアルタイム検査データを統合することで、量産環境においてホットスポットを容易に検出できるようになり、製品検証プロセスを改善することができます。さらに、ホットスポットの発生条件を設計プロセスにフィードバックできるので、その後の設計改良にも役立ちます。こうした利点は、変化が激しく多様な製品群を扱う今日の半導体製造業務にとってきわめて重要です。

アプライド マテリアルズのバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー（PDC 部門）、ロネン・ベンジオンは次のように述べています。「製品開発サイクルがますます短縮されるにつれて、歩留まりの改善よりも歩留まりの立ち上がりに重点がシフトしています。マグマ社との画期的な協業が実現したことにより、お客様はより迅速に新製品を市場に投入でき、収益が上がるまでの期間を短縮することができます」
マグマ社のファブ分析事業部ジェネラルマネージャー兼バイスプレジデント、アンクシュ・オベライ氏は次のように話しています。「リソグラフィー検証の課題を早急に解決しない限り、22nmノードの設計作業は長い時間を要し、量産化に伴うコストも高くなります。マグマ社のCADベースの解析技術をアプライドの先進的な欠陥検査・レビュー装置と組み合わせることで、設計サイクルを短縮し、将来の製品世代に関する学習を加速することができます」

マグマ社について
マグマ社のEDAソフトウェアは、携帯電話、電子ゲーム、WiFi、MP3プレイヤ、DVD/デジタルビデオ、通信機器、車載電子機器、その他電子機器向けの複雑かつ高性能なICを生成するために使用されています。ICインプリメンテーション、アナログ/ミックスド・シグナル設計、解析、フィジカル検証、回路シミュレーション、キャラクタライゼーションを行うマグマ社製品は、半導体技術の最高峰として評価されており、世界有数のチップメーカに対して「Fastest Path to Silicon™」を提供しています。マグマ社はカリフォルニア州サンノゼに本社を、また北米、ヨーロッパ、日本、アジア、インドにオフィスを所有しています。同社は、NASDAQ（チッカー・シンボルLAVA）で株式公開されています。米国マグマ・デザイン・オートメーション社のTwitter、www.Twitter.com/MagmaEDAおよびFacebook、 www.Facebook.com/Magma、Webサイトhttp://www.magma-da.com/をご参照ください。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは2月28日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド  マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
社長室： 大橋 百合　(Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com