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工具生命周期服务 帮助客户提高盈利

By Jeremy Read

不同客户的服务需求有明显差异,但这些需求 均源自同一需要:在当今高度竞争和快速变化 的市场中尽可能快地获取最大利润

无论客户是需要采用先进工 艺、以高成品率制造高性能器件, 还是要提高产量以抓住蓬勃发展的 物联网 (IoT) 市场商机,亦或想要 通过新工艺的快速产能爬坡、老旧 工具升级和工厂系统自动化来提高 收入、降低成本,他们都希望能快 速获得盈利。

应用材料公司全球服务事业部 (AGS) 曾花费大量的时间向客户了 解他们的真正需求。我们的了解如 下:提供服务就是设法帮助客户更 快地获取更多的利润。我们的服务 使客户能够以可最大限度发挥业务 潜力和提高盈利的方式来更快、更 好地完成所需的工作。

根据这一了解,我们改变了一 些服务方式,重新调整了我们的资 源配置,并开始提供新服务、技术 和协作,以便满足全球客户的各种 需求。

设计可维护性

在行业早期阶段,由工程师 设计工具,指定零部件规格、流程 和操作参数,然后交由现场服务团 队进行安装和生命周期管理,对工 具的可维护性或集成问题几乎不作 考虑。

今天的设备和工艺的复杂程 度呈几何倍数增长。因此,应用材 料公司越来越重视公司内部不同职 能部门的业务整合。应用材料公司 AGS 服务工程师现在经常同产品 开发与制造团队协作,以便在新工 具设计、测试、面市和后期升级期 间,确保更快速、平稳、协调地完成产能爬坡。这种内部“交融”为 客户提供了更多的工具知识,在可 维护性方面带来显著优势,包括增 加正常运行时间、提高系统运行效 率、让零部件成本更有竞争力。我 们在技术领域大力投入,为我们的 工具建立了庞大的指纹数据库。这 使我们能够针对工具部署现场服务 使用的服务器,最大限度缩短产能 爬坡时间和提高性能。

技术领先的 Applied Centris Sym3 新刻蚀工具就是一个很好的 例子。从一开始,AGS 工程师就 与产品设计和开发团队并肩作战, 制定服务例程,了解零件、套件和 更换周期,熟悉流程操作。他们还 负责协调从设施要求到晶圆试生产 的一系列安装与启动程序。由此缩 短了这款尖端新工具的产能爬坡时 间,提高了故障排查准确性和部件 管理效率。

应用材料公司的外延工具组 也是一个很好的例子。该业务部门 在产品设计与开发中也将服务考虑 在内。由此带来的一个结果是,我 们能够显著减少功能恢复时间(即 从状态良好时拆下工具,到执行预 防性维护和试生产,再到恢复生产 所需的时间)。这个作用特别明显, 因为外延工具对不同节点的多个工 序都至关重要。客户普遍严重依赖 外延工具,以实现高产量。

工具生命周期管理

客户通常会长年累月地使用应 用材料公司的工具,他们有时会购 买二手工具或翻新工具,而这些工 具处于不同的生命周期阶段。所以 我们开发出了多种服务产品,可以 解决处于工具生命周期不同阶段的 工具的性能问题。

当工具仍在设计阶段时,我们 便着手服务工作。当工具发布时, 我们也开始推出标准服务产品。然 后,随着工具完成首次安装并在首 个生产应用中完成产能爬坡,我们 的现场服务部门开始寻求机会,以 便能够最有效地运行工具,执行有 效的预防性维护 (PM),降低运行 成本。

随着工具的不断使用,我们 的服务产品开发团队开始打造更多 的服务产品。这些产品可能包括硬 件持续改进产品 (CIP) 和针对解决 方案推出的新服务与零部件产品。 应用材料公司新推出的产量提升服 务解决方案就是一个例子。该方案 面向传统的 Endura PVD 系统,本 期 《Nanochip 晶圆制造厂解决方案》的其他板块将对此作介绍。

在工具生命周期的晚期阶段, 我们侧重于为客户解决部件老旧问 题。这可能需要完全重新设计部件 或子系统,以实现更高的性能 — 正如我们通过 Applied Vita 控制器 来升级 200mm 传统设备那样 — 或替换原制造商不再提供的部件。

随时为客户提供服务

对于 AGS,不同的客户所需的 服务也不尽相同,但他们都希望我们 能够在他们有需要时随时提供服务。

有时,随时为客户提供服务意 味着,我们要专门派驻人员在客户 现场提供服务。例如,许多采用先 进节点工艺的客户已经与应用材料 公司签订了服务合同,以便我们可 以帮助他们快速完成工具产能爬坡 和优化工具性能,而他们则可以专 注于自身的流程与核心业务。

另一方面,随时为客户提供服 务也意味着要加快服务与零部件开 发,以便跟上最近几年的新产品开发 步伐。例如,提供新的或成本更低的 零部件,以提高器件性能与成品率, 从而满足客户最重要的业务需求。

最后,提供传统的故障维修服 务对应用材料公司的客户仍然非常 重要。确保我们按合同约定时间提 供正确的零件和工程师,是该服务 业务的基本组成部分。

越来越多的客户要求提供可确 保提升其工具性能的服务。因此, 我们制定了各种服务方案和合同, 以便根据具体的设备供应商,提供 正常运行时间保证。这类服务越来 越受到欢迎,我们还制定了新的服 务方案,帮助客户提高产量或缩短 达到成品率目标所需的时间。

我们也专注于高性能 PM(预 防性维护),以便最大限度提高工 具可用性和工艺性能。

投资于服务技术

AGS 团队致力于打造全球最先 进的服务技术,如预测服务,该服 务可提供更强大的指导分析或预测 分析,为客户提供帮助。

我们还在服务基础设施上重磅 投入,以提高操作效率,建立客户 工程师 (CE) 队伍,培养人员技能。 这切实体现了,我们努力保持服务 技术领先地位,始终引领客户的业 务发展,为最复杂的工艺流程及超 越摩尔定律应用提供支持。

打破地理障碍

鉴于半导体制造行业的全球性 质,我们致力于帮助全球客户以更 短的时间赚取更多的利润。我们拥 有全球一流的供应链,这是我们的 一大优势,但还不仅于此。我们在 人员知识和技能方面的投资造就了 另一大优势。以中国为例,应用材 料公司自 20 世纪 80 年代初便开始 在那里开展业务。AGS 与许多高等 院校建立了密切的关系,并积极开 展应届大学毕业生计划,帮助当地 工程师掌握技能,以支持中国半导 体行业的发展。

尽快取得成功

将当今的半导体制造比作紧张 刺激的过山车运动可能显得有些夸 张。但事实确是,赚钱机会稍纵即 逝,竞争日益激烈。

正因如此,AGS 致力于帮助 客户尽快取得成功。我们以此为最 高指导原则,不断开发我们的服务 产品,无论客户面临什么样的挑战, 我们都能通过这些服务,让客户以 更短的时间获得更多的利润。

欲知详情,请联系 jeremy_read@amat.com.

关于作者:
杰里米·瑞德 (Jeremy Read) 是 AGS 的服务营销及业务开 发副总裁。