東芝がアプライド マテリアルズの予測スケジューリングソフトウェアを導入、リソグラフィー工程を効率化

報道資料
2011年9月28日
（日本時間）

東芝がアプライド マテリアルズの予測スケジューリングソフトウェアを導入、リソグラフィー工程を効率化

アプライド マテリアルズ（Applied Materials, Inc., Nasdaq：AMAT、本社：米国カリフォルニア州サンタクララ、会長兼CEOマイケル・スプリンター）は9月27日（現地時間）、株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社がアプライド マテリアルズの予測スケジューリングソフトウェアSmartSched®を購入したことを発表しました。露光工程を中心とした生産能力拡大と効率化を目指す東芝四日市工場の第4工場では、8月からこの画期的ソフトウェアソリューションの導入が始まっています。この工場は、300mm半導体製造施設としては世界最大級の"メガファブ"に数えられています（出典：SEMI 2011 World Fab Forecast）。

株式会社東芝 セミコンダクター＆ストレージ社四日市工場第１生産技術部部長 森川正憲氏は次のように語っています。「生産性拡大を進めるには、まず露光工程の処理能力を大幅に高めることが重要です。そこで当工場ではアプライドのSmartSchedソリューションを採用しました。理由は、短期間でコスト効率よくスループット最適化とサイクルタイム短縮を実現できるからです。初期的には露光工程に重点を置きますが、今後はアプライド マテリアルズと協力しながらSmartSchedの機能を拡張して他の製造工程にも適用し、ボトルネック各種の工程で生産能力と装置稼働率を高めることを目指します」

アプライドグローバルサービスのグループバイスプレジデント兼ジェネラルマネージャー、チャーリー・パピスは次のように述べています。「SmartSchedソフトウェアは、生産ロットの割り当てを管理して各装置の稼働率を最大限に高める、究極の効率化エキスパートツールです。既存の露光装置から得られる利益の拡大を通じて、テクノロジーリーダーの東芝に協力できることを大変光栄に感じています。当社のSmartSchedは、あらゆる300mmファブで露光工程に限らず各種の生産ボトルネックに対応し、国際半導体技術ロードマップの主目標の1つであるウェーハサイクルタイム短縮にも貢献します」

アプライド マテリアルズのSmartSchedは、露光工程を中心とした生産ロットの動きを最適化する業界初ならびに唯一の予測スケジューリングソリューションです。露光工程は、半導体工場において最も複雑で投資額が高く、しかもボトルネックになりがちです。SmartSchedは独自の予測アルゴリズムによって各露光装置の稼動時間を最適化し、ロット待ち状態を減らして生産量を拡大します。装置稼働率が高まると、装置の新規購入を延期あるいは回避する余地も生まれるので、SmartSchedの投資利益はさらに高まります。

SmartSchedは、アプライド マテリアルズの実績あるAdvanced Productivityソフトウェアプラットフォームをベースに構築されています。この実績あるプラットフォームには投入能力計画、ロットスケジューリング、ロットディスパッチ、生産シミュレーションなどの機能が搭載され、世界の主要300mm工場の大半で採用されているものです。SmartSchedとAdvanced Productivityプラットフォームによるユニークな統合ソリューションは、精緻なプランニングプロセスに基づく生産能力の最適化を実現します。アプライド マテリアルズが提供する各種リアルタイム意思決定支援ソリューションの詳細については、www.appliedmaterials.com/software-semiをご参照ください。

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、先進的な半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造に用いられる革新的な装置、サービスおよびソフトウェアを提供するグローバルリーダーです。アプライド マテリアルズのテクノロジーにより、スマートフォン、薄型テレビ、ソーラーパネルなどの製品が世界中の家庭やビジネスで、より手頃な価格でご利用いただけるようになります。アプライド マテリアルズは、今日のイノベーションを明日の産業へ発展させていきます。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは9月27日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：渡辺徹）は1979年10月に設立。京都、大阪支店のほか14のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えています。

このリリースに関する詳しいお問い合わせは下記へ
アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社
社長室： 大橋 百合　(Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com