어플라이드머티리얼즈, 최초로 DUV 레이저 기술 적용한 다크필드 웨이퍼 검사 장비 출시

-       칩 수율 최적화 통해 다크필드 웨이퍼 검사 시스템의 범위 확대

-       타 다크필드 시스템에 비해 장비 유지 비용(CoO) 40% 이상 절감 효과 구현

반도체, 평판 디스플레이 및 태양전지 장비 글로벌 업체인 어플라이드머티리얼즈는 최초로 DUV(Deep Ultra-violet) 레이저 기술을 사용한 다크필드(Darkfield) 웨이퍼 검사 장비인 ‘DFinder™’ 시스템을 출시한다고 17일 밝혔다.

혁신적인 기술이 적용된 어플라이드머티리얼즈의 이번 장비는 22나노미터(nm) 또는 그 이하의 메모리·비메모리칩 제조 공정에 사용되며, 이를 통해 다크필드 웨이퍼 검사 시스템의 공정 범위를 확대할 수 있을 것으로 기대된다.

다크필드 웨이퍼 검사 시스템 최초로 DUV 레이저 기술을 적용한 이 장비는 칩이 만들어지는 웨이퍼 위의 미세 이물질을 보다 효과적으로 검출할 수 있도록 하여 제조 공정에서 칩 수율을 최적화한다. 자외선을 이용하는 다른 다크필드 시스템들에 비해서는 30% 이상 작은 미세 이물질을 검출할 수 있다. 따라서, 50여 단계 이상의 검사를 필요로 하는 기존 시스템을 사용할 경우보다 공정 시간이 대폭 단축되며, 장비 유지 비용(CoO, Cost of Ownership)을 40% 이상 절감할 수 있다.

어플라이드머티리얼즈의 PDC(Process Diagnostics and Control) 사업부문 총괄 책임자인 로넨 벤지온(Ronen Benzion)은 “어플라이드머티리얼즈는 광범위한 박막증착 관련 전문성 및 경험을 토대로, 차세대 칩들의 수율 최적화를 위해 고객들이 필요로 하는 검사 기술을 다방면으로 고민해 왔다.”라며, “보다 새로운 접근 방식으로 제조된 이번 ‘DFinder™’ 시스템은 공정 시간을 단축시키고 비용을 절감할 수 있어 메모리 제조업체 및 파운드리(위탁생산) 업체로부터 크게 각광받을 것”이라고 말했다.

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어플라이드머티리얼즈(Applied Materials Inc.)

미국 실리콘 밸리에 본사를 둔 어플라이드머티리얼즈(Applied Materials Inc.)는 반도체, 평판 디스플레이, 태양전지 등의 제조를 위한 혁신 장비, 서비스 및 소프트웨어를 제공하는 세계적 선두 기업이다. 주요 반도체 생산국인 한국을 비롯, 일본, 대만, 동남아, 유럽 등 전 세계 21개국에 걸쳐 지역법인을 두고 있다.

어플라이드머티리얼즈의 한국 법인인 어플라이드머티리얼즈코리아(Applied Materials Korea)는 최첨단 기술을 제공하고 글로벌 선진 사례를 공유하며, 국내 기업으로부터 부품을 조달 받는 등 지난 20여 년 동안 한국 IT 산업의 발전에 기여해 왔다. 어플라이드머티리얼즈코리아는 분당에 위치하고 있으며, 현재 직원 수는 약 600명이다.

www.appliedmaterials.com

 

March 21, 2011