칩의 고밀도화 추세는 측정 및 검사 분야에 있어서도 새로운 도전 과제로 받아들여지고 있습니다. 어플라이드 머티어리얼즈는 정확한 패터닝을 위한 첨단 측정 시스템과 수율 제약(yield-limiting) 결함 진단을 위한 검사 시스템을 개발했습니다.
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어플라이드 머티어리얼즈는 SEM 기반의 정밀 측정 시스템과 실시간 폐회로 컨트롤소프트웨어를 개발하여 칩 제조업체들이 복잡한 패터닝 과정을 정밀하게 검사하고 이를 기반으로 공정능력과 수율을 최적화할 수 있도록 지원하고 있습니다.<br /><br />
뿐만 아니라, 고밀도 회로 속에 숨겨져 칩의 기능을 저하시킬 수 있는 미세한 결함까지 탐색, 식별해 낼 수 있는 레이저 기반의 고감도 검사 시스템도 제공하고 있습니다. 검사는 패터닝 공정에서 수차례 이루어지기 때문에 정확성과 속도 모두 성공적인 제조에 필수적인 요인입니다.
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