트랜지스터의 핵심인 게이트는 중요한 온-오프 스위칭이 일어나는 부분으로서, 신소재 이용을 통해 더욱 빠르고 신뢰성 있는 성능 구현이 가능해 졌습니다. 어플라이드 머티어리얼즈가 제공하는 포괄적인 솔루션 포트폴리오는 칩 제조업체들의 이와 같은 첨단 기술 적용에 기여해 왔습니다.
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새로 생산되는 칩이 더욱 소형화되고 집적도 높은 트랜지스터를 장착하게 되면서 주요 칩 제조업체들은 신금속과 고유전율(high-k) 절연물과 같은 다양한 소재를 사용해 칩의 스위칭 속도를 높이고 전류 누설을 제어해야 했습니다.
어플라이드 머티어리얼즈는 최적화된 성능 구현을 위해 미세 설계된 인터페이스를 바탕으로 고유전율/금속 게이트 구조 제조를 위한 종합적인 통합 시스템을 개발해 왔습니다. 고온 식각, 원자층 증착(ALD) 및 초고진공 경화 기술이 가능한 이 시스템은 다양한 메탈 게이트 통합 문제 해결에 기여하고 있습니다.
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