어플라이드 솔리온 이온 주입기

어플라이드 솔리온 이온 주입 시스템(Applied Solion Ion Implanter system)은 결정질 실리콘(crystalline silicon) 태양전지(PV) 셀 제조에 있어 정밀성, 생산성, 유연성 측면에서 새로운 기준이 될 만한 검증된 플랫폼 기술을 적용합니다.
 
솔리온 시스템은 제조업체가 보다 적은 생산 비용으로 셀 효율(efficiency) 향상을 실현할 수 있도록 합니다. . 이온 주입 기계 장치는 보다 높은 효율의 p-n 접합(p-n junctions)을 생성할 수 있도록 기존의 열 확산 도핑(thermal diffusion doping) 이상의 고유한 이점을 제공하며, 솔리온 시스템은 셀 균일도 향상 및 보다 정교한 셀 비닝(binning)을 가능하게 하는 접합(junction) 개선을 위해 높은 정밀함과 공정 제어를 보장합니다.
 
어플라이드 솔리온 시스템은 업계 표준인 베리안(Varian) VIISta 리본 빔(ribbon beam) 구조를 적용함으로써 우수한 셀 성능 및 수율을 제공합니다.  독자적인 정밀 패턴 주입(Precision Patterned Implant, PPI) 기술은 공정 흐름을 단순화시켜 솔리온 시스템을 고효율 태양전지 셀 제조를 위한 가장 비용 대비 효율이 높은 솔루션으로 만듭니다. 또한 이온 주입은 최첨단 셀 구조 적용으로 셀 효율을 20% 이상 향상시킬 수 있는 제조공정을 통해 지속 가능한 가치를 지닙니다.

특징 및 이점
  • 뛰어난 p-n 접합(p-n junctions) 과정을 통해 고효율 실리콘 태양전지 셀 제조 가능
  • 효율 향상 및 PSG clean 및에지분리 공정을 제거한 공정 단순화를 통한 와트 당 비용절감
  • 추가 공정 없이 인시츄(in-situ) 패턴 도펀트(dopant)를 제공하는 정밀 패턴 주입(Precision Patterned Implant, PPI)
  • 생산성이 검증된 구조 및 성능
  • 최첨단 태양전지 셀 구조를 지원하기 위한 연장 주입 기술

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