Applied Baccini Rotary Line

Applied Materials의 Baccini Rotary Line은 스크린 인쇄 c-Si PV 전지 분야에서 업계 선두를 달립니다.스크린 인쇄에서 격리, 분류까지 금속배선 전체 공정을 책임지는 일렬 통합 백엔드 공정 시스템인 Rotary Line은 저렴하고 검증된 솔루션을 제공합니다.

Rotary Line은 크기가 125 mm x 125 mm 에서 156 mm x 156 mm 사이인 단결정 및 다결정 실리콘 웨이퍼를를 180 µm 두께로 처리할 수 있습니다. 라인 최대 처리량은 1400 w/h으로 연간 30MW의 생산이 가능합니다.

Rotary Line의 핵심은 고속 스크린 인쇄 기술에 있습니다. 인쇄 헤드는 여러 개의 고속 선형 모터를 이용해 로봇으로 조종합니다.테이블의 이전 위치에서 카메라에 감지된 웨이퍼의 위치 좌표에 따라 인쇄를 정렬합니다. 인쇄 스크린 교체에는 최대 4초가 걸리며 라인 산출량에는 영향을 미치지 않습니다.스크린 인쇄 정렬의 우수한 정밀성은 최대 오차범위 +/-15 µm를 실현시킨 첨단 비전 시스템으로 제어하고 있습니다.

웨이퍼 취급에 공장 생산성과 산출량이 달려있기 때문에 취급 과정은 조심스러우면서 신속하고 신뢰할 수 있으며 깨끗해야 합니다. Rotary Line의 혁신적인 웨이퍼 취급 기술로 낮은 파손률과 95%의 가동률을 유지할 수 있습니다.

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• Applied Baccini Cell Systems Brochure (1.5MB, PDF)
• Screen Printing and Advanced Cell Design Technology Primer (702kB, PDF)