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VIISta®

1998년 Varian Semiconductor Equipment에서 출시한 VIISta 플랫폼은 전체 이온 주입 제품군을 지원하는 업계 최초의 공통 플랫폼입니다. 이 플랫폼은 서로 다른 4가지 제품(고전류, 중전류, 고에너지, 플라즈마 도핑)을 수용할 수 있도록 설계되어 공용성을 극대화했습니다.

이온 생성 소스 모듈, 엔드 스테이션/공정 챔버, 웨이퍼 핸들링, 소프트웨어 구성 요소를 VSE의 모든 이온 주입 제품에 공통적으로 사용할 수 있게 만들어 유지 보수, 교육, 제품 지원을 단순화하고 제품 지원과 제조 비용을 줄이고 기술적 창의성을 활용합니다.