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고속 열처리

고속 열처리는 반도체 소자 제조 중에 원하는 특성(예를 들어 전도성)을 향상시키기 위해 주입된 도펀트를 활성화하거나 재료의 상태(또는 상)를 변경하기 위한 목적으로 반복적으로 사용됩니다. 소킹, 스파이크 또는 밀리초 어닐링과 건식 고속 산화는 여러 가지 응용 분야에 적용됩니다.