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Producer®

Producer는 업계에서 가장 빠르고 비용 효율적인 플랫폼으로 매우 작은 공간에서 분당 3장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 3쌍의 공정 스테이션과 독보적인 이중 데커 진공 로드락 사이에서 웨이퍼 4장을 동시에 이송할 수 있는 로봇이 장착되어 있습니다.