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MEMS

가속도계, 자이로스코프, 마이크로폰 등 용도를 확대해 가는 MEMS 소자는 모바일, 자동차, 의료용 기기 시장의 지속적인 변화를 이끌었습니다. 또한 다기능 또는 "복합" 센서 패키지의 개발로 MEMS 채택이 더욱 가속화되고 있습니다. MEMS 소자 소형화는 비슷한 크기에서 더 많은 기능을 구현할 수 있게 해줍니다. 이러한 복합 소자를 구현하려면 새로운 재료와 소자 집적화 기술이 필요합니다. 여기에는 전력 감소를 위해 두꺼운 Epi를 증착하고 식각할 필요가 있으며…