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CVD

CVD 공정은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 이러한 공정은 패터닝 필름부터 트랜지스터 구조 내부의 절연 물질과 전기 회로를 형성하는 전도성 금속층 사이의 절연 물질까지 다양하게 적용됩니다. 응용 분야로는 STI, 전금속 유전체, 금속간 절연체, 페시베이션이 있습니다. 또한 전도성 개선을 통해 트랜지스터 성능을 향상시키는 압축 또는 인장 응력 필름을 사용하는 신축 변형 가공에서도 중요합니다.