skip to main content

Centura®

다용도의 Centura 시스템은 8,000대가 넘게 전세계 고객들에게 출하되었고 고 유전율 트랜지스터 게이트 스택 제조 같은 통합 다단계 공정은 물론 ALD, CVD, 에피택시, 식각, 포토마스크 제조, PVD, 플라즈마 도핑, 플라즈마 질화, RTP를 포함해 매우 다양한 응용 분야에 사용됩니다.

Centura는 고신뢰성 자기 결합 진공 로봇이 장착된 중앙 이송 모듈 주변에 설치된 4개의 처리 스테이션과 2개의 보조 챔버로 구성됩니다.