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Centura®

다용도의 Centura 시스템은 8,000대가 넘게 전세계 고객들에게 출하되었고 고 유전율 트랜지스터 게이트 스택 제조 같은 통합 다단계 공정은 물론 ALD, CVD, 에피택시, 식각, 포토마스크 제조, PVD, 플라즈마 도핑, 플라즈마 질화, RTP를 포함해 매우 다양한 응용 분야에 사용됩니다.