skip to main content

ALD

ALD는 현재 최첨단 평면 소자 구현와 업계의 3D 구조로의 전환에서 중요한 역할을 수행합니다. 어플라이드의 ALD 시스템은 첨단 트랜지스터, 메모리, 인터커넥트 응용 분야에서 다양한 산화물, 금속 질화물, 금속을 한 번에 단일 원자층의 한 부분씩 웨이퍼에 증착시켜 초박막층을 형성합니다.