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VIISta® 3000XP

높이 평가되고 있는 Varian 이중 자석 단일 웨이퍼 구조를 기반으로 한 VIISta 3000XP는 첨단 고에너지 응용 분야에 요구되는 각도 정밀성을 구현합니다.

65nm 기술 노드 미만에서는 종래의 배치형 고에너지 주입 장치의 제약으로 인해 고에너지 공정에 대한 소자 성능 문제가 발생합니다. 차세대 소자 제조를 위해 요구되는 정밀한 각도 제어, 주입량 제어, 생산성을 실현하기 위해 단일 웨이퍼 구조가 필요합니다.

VIISta 3000XP는 또한 중전류 백업에도 적합합니다. 이 시스템에는 시장을 선도하는 중전류 VIISta 900XP와 동일한 단일 웨이퍼 엔드스테이션, 주입량 측정 시스템, 웨이퍼 이송 시스템이 사용됩니다.