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Vantage® Radiance®Plus RTP

어플라이드 Vantage RadiancePlus RTP 시스템은 대용량 대기 RTP 응용 분야를 위해 세계적인 수준의 RTP 챔버 기술과 성능이 검증되고 CoO가 낮은 플랫폼을 결합한 업계 최고의 고생산성 솔루션입니다. 효율적으로 설계되어 단일 장치로 출고할 수 있어 더 빠르게 가동할 수 있고 생산까지 걸리는 기간도 더 짧습니다.

이 시스템은 확립된 Radiance 챔버 기술(허니컴 램프 소스, 7포인트 온도 측정, 100Hz 닫힌 루프 제어, 240rpm 웨이퍼 회전)을 활용합니다. 최적화된 하드웨어와 온도 제어 기능이 임플란트와 기타 어닐링을 위한 탁월한 스파이크 어닐링 균일성과 확장된 저온 살리사이드 공정을 구현합니다.