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Raider®-S ECD

Raider-S는 TSV웨이퍼 레벨 패키징 응용 분야를 위한 대용량 단일 웨이퍼 전기 도금 장비입니다. 이 시스템은 완전 자동화된 웨이퍼 핸들링 시스템과 다중 공정 챔버를 특징으로 하며 자동 화학물질 관리 시스템과 함께 사용할 수 있습니다.

특징

  • 차세대 금속 증착 또는 세정 챔버
  • 15개에서 최대 27개 이상의 공정 챔버
  • 기본으로 제공되는 화학 분석 옵션
  • 막 도금 기술
  • 얇은 시드층 도금을 위한 다구역 양극
  • 작은 설치면적
  • 200mm 또는 300mm 웨이퍼

응용 분야