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Raider® Mini Quattro ECD

Raider M-Quattro는 고성능 단일 웨이퍼 ECD 시스템으로 완전 자동화된 정밀 웨이퍼 핸들링 기능과 다중 공정 챔버를 특징으로 합니다. M-Quattro 플랫폼으로 개발한 새로운 공정과 레시피는 대량 생산용 Raider GT ECD 시스템으로 바로 전환할 수 있기 때문에 연구 개발 단계에서 완전 생산 단계로 유연하고 신속하게 넘어갈 수 있습니다.

특징

  • 같거나 다른 유형의 공정 챔버를 최대 4개까지 사용할 수 있어 성능을 최적화
  • 작은 설치면적(<4.5m2)
  • 최대 300mm 기판
  • 개방형 카세트, SMIF 또는 FOUP 지원
  • 일체형 방식의 화학 반응 취급
  • 최대 4개의 서로 다른 화학 반응
  • 도금용 일체형 전력 공급장치
  • 엔드 포인트 검출 사용 가능