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Producer® XP Precision™ CVD

3차원 수직 구조 낸드 메모리 제조 같은 임계 필름의 증착 공정을 위해 특별히 개발된 어플라이드 Producer® XP Precision™ CVD 시스템은 해당 구조에서 수직 차원 CD 제어를 위해 공정 제어를 획기적으로 개선하는 어려운 문제를 해결합니다.

Precision 챔버의 특수화된 설계는 게이트 스택에 필요한 필름 품질로 균일한 층간 증착을 구현해서 칩 제조사들이 평면 낸드에서 3차원 수직 구조 낸드 생산으로 전환할 수 있게 해줍니다. 여러 공정과 챔버 환경의 매개 변수를 조절할 수 있는 독보적인 기능을 갖춘 이 제품은 정확한 균일성과 최소의 결함으로 서로 다른 필름의 교대층을 증착할 수 있는 유일한 도구입니다.

Precision 시스템은 또한 Saphira™ APF 같은 새로운 종류의 하드마스크 필름을 증착할 수 있습니다. 이러한 필름은 선택비가 높고 응력이 낮고 투명성이 더 우수해서 새롭게 떠오르는 고종횡비, 고밀도 패턴 형상에 적합합니다. 이 필름은 여러 층이 연속해서 성장할 것으로 예상되는 차세대 3차원 수직 구조 낸드 제조와 최신 DRAM의 고종횡비 형상 제조에 필요한 긴 식각 공정에 견딜 수 있습니다.

고생산성 제조를 위해 설계된 모듈식 Producer XP Precision 시스템은 생산 현장에서 검증된 Producer 메인프레임 아키텍처와 고속 시스템 프로토콜을 더 빠르고 더 효율적인 Precision 챔버 공정 기술과 결합해 우수한 처리량 밀도를 구현합니다.