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Producer® DARC® PECVD

어플라이드 Producer DARC PECVD는 업계를 선도하는 반사 방지 코팅 필름으로 ≤90nm 기술을 위해 반사율을 최소화하고 포토레지스트 중독을 줄이고 포토레지스트 접착력을 향상시킵니다.

어플라이드 머티어리얼즈의 APF™(Advanced Patterning Film) 박리 가능 CVD 하드마스크와 함께 사용하는 APF/DARC 필름 스택은 식각 선택비, CD 제어력, 라인 에지 거칠기를 향상시키는 리소그래피 구현 솔루션을 제공합니다. 어플라이드 Producer DARC PECVD는 굴절률과 흡광 계수값 조정 범위가 넓어 다양한 응용 분야에서 뛰어난 반사율 조절 능력을 제공합니다. 이러한 필름은 다른 CVD 유전체에 인시츄로 적용할 수 있어 효율성이 높고 소유 비용이 낮습니다.

전통적인 게이트, 폴리실리콘, 알루미늄 인터커넥트 리소그래피 응용 분야에서 널리 사용되는 DARC 193은 이중 다마신 인터커넥트 방식에 적합하며 저 유전율 유전체 필름에 대한 접착력이 뛰어납니다.