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Producer® CVD 200mm

MEMS, 전력 소자, 패키징을 포함해 '무어의 법칙을 넘어선' 시장의 제조 요건을 충족시키기 위해 추가로 첨단 200mm 화학 기상 증착 기술의 필요성이 높아졌습니다. 이러한 시장을 뒷받침하기 위해 개발 중인 새로운 CVD 기술을 몇 가지 예로 들면 더 두꺼운 필름(≥20µm), 더 낮은 온도(180-350°C), 더 높은 정합성, 저온 PECVD 실리콘 게르마늄(SiGe)이나 무정질 실리콘(a-Si) 같은 새로운 물질이 있습니다.

전세계적으로 3,000여 대가 판매된 어플라이드 Producer는 업계에서 가장 비용 효율적인 웨이퍼 처리 플랫폼입니다. 혁신적인 트윈 챔버 구조 덕분에 최대 6개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있어 생산성이 더 높습니다.

Producer 시스템은 전통적인 PECVD(TEOS 및 실란 기반의 산화물과 질화물)와 대기압 미만 CVD 필름을 지원할 뿐만 아니라 저 유전율, 신축 변형 가공, 리소그래피 구현 필름, 열 필름, 고온 PECVD 응용 분야, SiGe와 비정질 실리콘을 포함한 첨단 공정도 지원합니다.

세라믹 히터와 챔버 구성품 그리고 챔버 세정을 위한 원격 플라즈마 소스를 사용하는 어플라이드 Producer는 CVD 필름을 위한 결함률 최저의 성능을 구현합니다. 플랫폼 확장성을 제공하기 때문에 Producer 장비 세트를 여러 가지 유형의 소자와 공정 노드에 활용할 수 있습니다.