skip to main content

Centura® Ultima HDP-CVD®

Applied Centura Ultima X HDP‑CVD(고밀도 플라즈마 화학 기상 증착) 챔버는 고효율과 서비스 편의성을 제공합니다.

Applied Centura Ultima X HDP‑CVD 챔버의 반응기 설계와 공정 기술을 통해 STI, 전금속 유전체, ILD, IMD, 페시베이션 등의 다양한 응용 분야에 대해 무도핑 필름과 도핑 필름을 모두 증착할 수 있습니다.