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Centura HDP CVD 200mm

전세계적으로 1,000여 개의 시스템이 생산 공정에서 사용되고 있는 어플라이드 Centura Ultima HDP‑CVD(고밀도 플라즈마 화학 기상 증착)는 ≤200mm 응용 분야에서 검증된 공극 없는 갭 충진 솔루션을 제공하는 업계 선두의 다세대 시스템입니다.

특허를 받은 어플라이드 머티어리얼즈의 Ultima HDP-CVD 반응기 설계와 공정 기술은 트렌치 소자 분리(STI), 전금속 유전체(PMD), 층간 절연체(ILD), 금속간 절연체(IMD), 패시베이션을 포함한 다양한 응용 분야에서 무도핑(USG) 필름과 도핑(PSG, FSG) 필름을 모두 증착합니다.