어플라이드 머티어리얼즈가 자랑하는 제품 안전 프로그램은 어플라이드 머티어리얼즈 시스템이 제품 운영, 유지, 서비스 제공 시 절차에 따라 관련 제품 규제를 준수하고 있는지, 그리고 직원, 환경, 고객 시설을 유해요소로부터 보호하는 데 적합하도록 고안되었는지 확인하는 프로그램입니다.
이를 위해 전문 제품 안전 엔지니어가 주요 제품 부서에 파견되어 각 제품을 직접 감독하고 있습니다. 이러한 관리 시스템을 바탕으로 안전 및 환경을 포함한 제품 EHS 표준이 어플라이드 머티어리얼즈의 제품 출시 프로세스 과정에서 잘 지켜지고 있으며, 제품 출시 전에 모든 세세한 부분까지 표준에 부합하는지 검사가 이루어지고 있습니다. 제품 안전을 위한 표준으로는 UL, ANSI, IEC, EN, SEMI 등과 같은 국제기구 표준과 함께 업계에서 전문성을 인정받은 표준이 사용되고 있습니다.
환경을 위한 설계(DfE, Design for Environment) 프로그램은 어플라이드 머티어리얼즈 제품이 법적 규제와 고객업체의 요구사항뿐만 아니라 환경과 에너지 성능 개선을 위한 기준도 충족시킬 수 있도록 하기 위해 고안되었습니다. 2007년 어플라이드 머티어리얼즈는 2012년까지 적어도 평균 20%까지 제품의 환경 기여도를 개선시킨다는 목표를 발표했습니다. 이를 위해 DfE 프로그램을 전 제품 출시 과정에 공식적으로 적용시켰습니다. 이는 각 비즈니스 부문이 보다 효율적인 제품 생산을 위한 요구를 수용한다는 것을 의미하며 개선을 위해 목표를 설정해야 한다는 것을 의미합니다. 또한 제품 변경, 부품 선택 등에 있어서도 엔지니어들이 평가할 수 있는 내부 툴을 개발했습니다. 업계 표준 대비 제품의 성능을 측정할 수 있는 실제적인 제품 성능 측정툴이 개발되었습니다. 에너지 절약, 반도체 제조 장비에 사용되는 유틸리티 및 소재/원료 등을 위한 지침도 마련되었습니다. 어플라이드 머티어리얼즈 직원은 S-23 표준 개발에 중요한 역할을 하고 있으며, 이 분야에 기여한 공로로 ISMI으로부터 리더십 어워드를 2회나 수상했습니다. ISMI의 ESH 기술 센터에 소속되어 있는 두 개의 공급업체 중 하나인 어플라이드 머티어리얼즈는 DfE 향상을 위해 고객업체들과의 활발한 협력활동을 추진하고 있습니다.
이러한 노력의 결과로 탄생한 제품이 최근 출시된 iSYS™ 제품입니다. 반도체 fab에서 40% 이상의 전력이 소비되는 곳은 전기 장비가 밀집되어 있는 subfab입니다.
어플라이드 머티어리얼즈의 iSYS 플랫폼은 반도체 공장에서 배출되는 가스량 통제를 위해 업계 최초로 개발된 완전 통합형 subfab 솔루션입니다. 어플라이드 프로세스 장비와 네트워크로 연결된 iSYS 시스템 도입 시 기존 시스템에 비해 전력, 공업용수, 가스의 연간 소비량 감소량이 200MWh에 이르며, 이는 220,000 파운드에 달하는 이산화탄소 배출량을 줄이는 효과와 같습니다. 자원 절약형 iSYS 플랫폼의 주요 특징은 첨단 제어 시스템입니다. 웨이퍼 프로세싱 장비와 동기화된 이 제어 시스템은 각 프로세스 챔버의 변화를 실시간으로 감지하여 하부시스템에게 준비 상황을 미리 지시하는 기능을 제공합니다. 유틸리티 미터링 센서와 소프트웨어가 각각의 iSYS 플랫폼에 장착되어 있어 에너지 절감총량에 대한 원격 모니터링이 가능하고 에너지 지속가능성 목표 달성에 기여하는 기능을 제공합니다. DfE 혁신 기능이 잘 구현된 iSYS 플랫폼은 SEMI로부터 2010 지속가능한 기술 어워드를 수상했습니다.
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