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メタルゲート トランジスタ
メタルゲート トランジスタ
トランジスタのゲートはオン/オフの切り替えを行う心臓部です。ゲート材料にメタルを使用することにより、トランジスタはより高速になり、信頼性も向上します。アプライド マテリアルズはお客様がメタルゲートに移行するのを支援する総合的なソリューションを開発しました。
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さらにコンパクトで集積度の高いチップでは、スイッチング速度を向上させるための新しいメタルゲートや、リーク電流を抑制するための「High-k」絶縁膜などの新しい材料の導入が必要です。
Centura Carina Etch
Centura Integrated Gate Stack
Centura RP Epi
Endura ALPS PVD (ALPS Co & Ni)
Endura Avenir RF PVD
Producer Celera PECVD
Producer Snow PECVD
Vantage Astra DSA
Vantage Vulcan RTP
Varian VIISta Trident
VIISta 900XP
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