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計測 & 検査

半導体メーカーは、一連の製造工程における個々のステップの品質管理および監視の手法として、計測ウェーハ検査に加え、欠陥レビュー、分析および分類に依存しています。計測工程では、生産中のデバイスの物理的および電子的な特性がすべての工程で満たされているかを検証し、ウェーハ検査では、完成したデバイスにおいて表面パーティクル、パターン欠陥やその他、デバイスの性能を損なう可能性のある条件を検出します。