プロセスコントロール

高密度の半導体では測定や欠陥検査にも新しい課題が生じます。アプライドマテリアルズは、パターンの精度を確認するための洗練された測定システム、そして歩留まりを低下させる欠陥の検査システムを開発しました。

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