Applied HCT Squarer High Tension Upgrade Kit

生産性向上を約束するアップグレードキット

インゴットのスクエアリングでは、現在、直径300μmのストラクチャードワイヤーを用い、張力とテーブル速度を低めに設定する方法が主流となっています。これに対し、アプライドマテリアルズは最大300Nのワイヤー張力に耐えられるHigh Tensionアップグレードキットを提供し、より高い生産性を実現しています。 すべてのApplied HCT Squarer装置に組み込むことができるHCT ハイテンション・アップグレードキットは、スラリーとダイヤモンドワイヤーいずれの構成にも対応し、単結晶・多結晶どちらのシリコンインゴット切削にも対応します。この最先端アップグレードキットは、既存装置のスループットを1.6－2.0倍に高め、歩留まりや設置面積についても一切の妥協を排しています。