Applied HCT Squarer

Applied HCT Squarer（スクエアラー） は、キャスト成型された多結晶シリコンインゴットをレンガ状に切り出したり、引き上げた単結晶シリコンインゴットをセミスクエア形に加工する装置で、高さ最大500mmまでのワークに対応し、平滑な表面品質を実現します。

年間生産能力は80MWで、0.30-0.35mmと極めて少ない切り代（カーフロス）を実現しています。

HCT Squarerシステムは、従来型のスラリーベースの切削とダイヤモンドワイヤー（DW）による切削のどちらにも対応できるよう、2種類の装置構成を用意しています。

また、アップグレードキットにより、スラリーからDW（ダイヤモンドワイヤー）への転換が容易で、生産ニーズに柔軟に対応できます。DWは環境に配慮しながらスクエアリングの生産性を高める技術として注目を集めています。スラリーを使わず、水ベースのクーラントを用い、高速切削とエネルギー消費量を削減します。DW技術により複雑でコストのかかるスラリー管理が不要となり、スクエアリングプロセスが簡素化されます。

アプライド マテリアルズのDW用クーリング・ソリューションは、自動リンスキットにより研削くずの過剰な蓄積を防ぎ、装置を清浄で、かつ安定した加工性能を保ちます。設置は迅速・簡単でリスクも少ないため、装置の利点をすぐ生産に生かすことができます。

さらなる生産性向上のため、最大300Nのワイヤー張力に対応するハイテンション・アップグレードキットも用意いたしました。