Crystalline Silicon

Applied Baccini Rotary Line

Applied Baccini Rotary Line は、現行世代では業界トップの結晶シリコン太陽電池向けスクリーン印刷装置です。スクリーン印刷から素子分離、選別までのメタライゼーション工程全体をインラインで処理するバックエンド処理装置として、コスト効率の高い実績あるソリューションを提供します。

Rotary Line は、単結晶・多結晶シリコンウェハに対応し、厚さ 180 µm以上、サイズ 125 mm x 125 mm から 156 mm x 156 mm までのウェハが処理できます。ラインスループットは最大1400 w/h で、年間生産に換算すると30 MW に相当します。

Rotary Line の心臓部は高速スクリーン印刷技術です。印刷ヘッドは複数の高分解能リニアモータでロボット制御されます。テーブル直前のカメラが検出したウェハの位置座標に従って、スクリーン位置を合わせます。スクリーン交換時間は最長 4 秒で、ラインスループットに影響しません。高精細視覚システムの採用により、位置合わせの高精度制御は +/-15 µm という最小誤差を達成しています。

ウェハ搬送は工場の生産性や歩留まりを左右する重要な鍵です。高速で高い信頼性のクリーンな搬送であるのと同時に、非常な慎重さも要求されます。Rotary Line の革新的なウェハ搬送技術は、低破損率を維持し、可稼働率 95%を達成しています。