カラーフィルター用スパッタリング装置AKT New Aristoシステム

AKT-NEW ARISTO PVDシステムは、カラーフィルターアプリケーション用のITOおよびSiO2成膜の業界標準であり、920mm×730mm 基板サイズ用の NAR1200から 2200mm×2500mm 基板サイズ用のNAR2200Mまで、8タイプのプラットフォームを提供しています。

NEW ARISTOは、業界で最高のスループットを実現し、基板当たりのコストを最低限に抑える、完全に自動化された縦型インラインスパッタリングシステムです。自動化されたロード/アンロード機能ならびに特許取得済みの磁気搬送システムにより、業界最短のサイクルタイムを実現しています。NEW ARISTOは、最先端のロータリーカソード技術を取り入れており、最高の歩留まりとコスト･オブ･オーナーシップの低減により、FPD業界で一番に選ばれるソリューションです。