TFT液晶ディスプレイ用　電子ビームアレイ検査装置 (AKT-EBTアレイ検査装置)

アプライドマテリアルズの電子ビームアレイ検査装置(AKT-EBTアレイ検査装置)は、フラットパネルディスプレイ量産工程向けに、ディスプレイ上における欠陥画素の検出機能を提供します。

AKT-EBTアレイ検査装置は、必要最小限の機械的動作を実現する装置コンセプトに、これまでに量産工程にて実証されてきたAKT-PECVDシステムのプラットフォーム技術を適用することにより、フラットパネル量産工程における高スループットと高信頼性、メンテナンス時間の短縮および低ランニングコストを実現しています。

複数の世代のガラス基板サイズに対応するAKT-EBTアレイ検査装置は、電子ビーム照射位置の広範囲における高速・高精度制御とマルチ電子ビームによるパラレル検査によって実現される高速検査機能を特徴としており、特にフラットパネルテレビ用の大型TFT液晶ディスプレイの検査において高いスループットを実現しています。

また、電子ビームを用いた非接触式の検査技術により、フラットパネルディスプレイに物理的損傷を与えることなく安全に検査することができます。

TFT液晶ディスプレイ周辺回路(内蔵ドライバ)や有機ELディスプレイのバックプレーン回路に対する検査ソリューションも提供しています。

第8/8.5世代ガラス基板対応のAKT-55K EBTシステムおよび第10世代ガラス基板対応のAKT-90K EBTシステムは、マルチ電子ビーム源として、ガラス基板の全幅をカバーするように配列された、それぞれ7個および9個の電子銃を搭載し、それによってガラス基板の搬送に必要な機械的動作を1軸方向のみとしています。

また、ガラス基板上のディスプレイ配置に併せてフレキシブルに対応可能な自動プローバ機構の採用により、各ディスプレイ配置専用のプローバフレームを不要にしています。

アプライドマテリアルズは、第5世代ガラス基板 (1100mm×1300mm) に対応するAKT-15K EBTシステムから、第10世代ガラス基板 (2880mm×3130mm)　用のAKT-90K EBTシステムまで、TFT液晶ディスプレイの製造に使用される５つのタイプの検査プラットフォームを提供しています。