LED業界用自動化ソフトウェア

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アプライド マテリアルズの自動化ソフトウェアは、LED工場において製造工程における製品の追跡・監視ならびに装置稼働率と製品品質の改善をもたらし、お客様の業務拡大と売上成長を支援します。 Advanced Process Control（APC：高度プロセス制御）は、エピタキシャル、スキャナーその他プロセスの改善で培った広範な経験が生かされています。LED製造向けのこのソリューションは、ソフトウェアの初期投資を抑え、コストオブオーナーシップを低減し、収益増に寄与します。アプライド マテリアルズの自動化ソフトウェアは、世界500カ所以上の製造施設で導入されており、生産性を高めるとともに、コストの引き下げに寄与する実績あるソリューションです。

 

ソリューション

全方位オペレーション監視システムとプロセス管理のための各種機能：

  • 総スループット、歩留まり、装置状態を継続的にモニタリング（プロセスと装置の状態変化はリアルタイムで通知）
  • 既定のメンテナンスウィンドーに沿ったダイナミック予防メンテナンススケジュールを提供
  • 製造実行システム（MES）のワークフローを装置エンジニアリングシステム（EES）と組み合わせて重要な設定を検証・実行し、最終製品に関連したMOCVD（有機金属気相成長法）プロセスの情報管理。
  • スクラップやエクスカーションイベントが発生した場合、装置センサーデータログで迅速に根本原因を解析
  • スクラップやエクスカーションイベントを未然に防止するため、フォールトモデルや警告通知（Warning)などの手法を利用
  • 装置センサーのデータマイニングを通じて装置ダウンを事前に予測、突然の装置ダウンを回避

 利点

  • プロセスマージンを確実に管理することにより、歩留まりと総スループットを改善して収益を拡大
  • スクラップを最小限に抑え、メンテナンス時期をリアルタイムに監視してコストを低減
  • 単一プラットフォーム上で自動化とインテグレーションを行うことで製造クオリティを改善
  • 需要の変化に応じた装置管理

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