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Vantage®

Vantageプラットフォームは、熱酸化処理用のRadOx、スパイク、ソークアニール用のRadiancePlusおよびVulcan、ミリ秒アニール処理用のAstraで構成される枚葉式高速熱処理装置(RTP)として、2012年末には世界中の工場で600台以上稼働しています。2基のチャンバで構成され、コストと占有面積を最適化するようにデザインされています。Vantageのスパイクアニール処理と熱酸化処理システムの技術は、業界をリードしています。