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Reflexion®

アプライド マテリアルズのReflexionプラットフォームは、業界をリードする化学機械研磨(CMP)プラットフォームで、ロジック、ファウンドリ、DRAM、フラッシュメモリ、プライムシリコン、ウェーハレベルパッケージングといった、あらゆる分野に採用されています。Reflexionプラットフォームを使用した装置は、業界をリードするチタン研磨ヘッド、in-situプロセス制御やマランゴニ乾燥テクノロジーを装備しています。これらの装置はまた、1台の研磨プラテンから次のプラテンへと、直接ウェーハを移送するアプライド マテリアルズ独自のアプローチを採用しています。