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高速熱処理

高速熱処理は、半導体装置の製造過程において、注入されたドーパントのアクティベートや、材料の必要特性 (例えば、伝導率) を向上させるための状態 (またはフェーズ) の変更などの目的で、繰り返し使用されます。さまざまなアプリケーションにおいて、ソークアニール、スパイクアニール、またはミリ秒アニールや、迅速なドライ酸化などの処理を行います。