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Producer®

アプライド マテリアルズのProducerは、業界で最も迅速かつコスト効果が高いプラットフォームで、非常にコンパクトな設置面積で1分間に3枚以上のウェーハを処理できます。同システムは、3台セットとなっているプロセスステーション間で同時に4枚のウェーハを移送できるロボットと、独自のダブルデッカー真空ロードロックを備えています。