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パターニング

最先端の半導体チップに何十億個というトランジスタを集積化するには、複雑なリソグラフィ手法を駆使し、人の髪の毛の千分の一より小さな構造を形成する必要があります。
 
アプライド マテリアルズは、現在のリソグラフィ装置の限界を複数世代拡張する技術を使い、光の波長より小さいパターニングを行えるよう、お客様をサポートします。